Celý tento proces musí probíhat ve vakuu protože tyto vlnové délky světla jsou tak krátké, že ani vzduch by je absorbovat. Navíc, EUVL používá konkávní a konvexní zrcadla pokryté několika vrstvami molybdenu a křemíku - tento povlak může odrážet téměř 70 procent EUV světla při vlnové délce 13,4 nanometrů. Dalších 30 procent je absorbován do zrcadla. Bez povlaku, světlo by se téměř úplně absorbuje před dosažením oplatky. Zrcadlové plochy musí být téměř dokonalý; i malé vady v povlaky může zničit tvar optiky a narušit plošného spoje vzor, což způsobuje problémy při funkci třísky.
Další informace o EUVL a souvisejících témat, podívejte se na odkazy na další stránce.
